Clean Room & 奈米制造设施
Specs
- 1500平方英尺的1000级和10000级洁净室空间
- 2000平方英尺的服务和支持区域空间
- 10,000 CFM空气处理机组，每小时换气约75次
- 室温在65-70°F之间
- 相对湿度50-60%
- 18.2兆欧姆去离子水
- 室内氮气(N2)从液氮中沸腾，35- 45psi
- 压缩干空气(CDA)输送压力90- 100psi
- 30+资本设备系统
Safe Environment
- 洁净室内外安全洗眼和安全淋浴
- 3个用于化学工作的排气罩.
- 进入洁净室前需要穿工作服，以保护环境和正在处理的样品. 提供无颗粒蓬松帽，工作服，鞋套，手套和安全眼镜.
- Face shields, 耐化学性围裙, protective sleeves, 并且为化学工作提供了重型耐化学手套.
- 所有高压设备至少有一个EMO用于出现问题时的紧急关闭
- 没有剧毒气体.
Dedicated Staff
每位用户都接受我们员工的培训. 工作人员在那里帮助用户排除故障，并在必要时提供支持.
Why BCISCRNF
- 最先进的设施和设备
- 适合小型初创公司和大学
- 易于新用户设置
- 成本效益/负担得起的价格
- 一对一的培训
Laboratory
标准操作程序
- 新用户必须在白天(朝九晚五)至少运行设备3次。.
- 在适用的情况下，设备在使用前是否准备好.
- 只使用设备，因为它是打算被使用.
- 向工作人员报告任何问题.
ORIENTATION & TRAINING
在定位之前, Non-BC users must complete the 外部用户设施使用协议. 电子游戏软件用户 must complete the 授权申请表格. 经批准后，新用户在使用设备前必须接受培训和培训计划. Please 联系史蒂夫·谢泼德 安排训练时间.
GOWNING
穿礼服必须由上而下. 用户需要按顺序戴上帽子、兜帽、西装、靴子和手套.
BUDDY SYSTEM
出于安全考虑，我们要求用户在实验室工作时使用伙伴系统. 在进行有潜在危险的操作时，一定要确保有人和你在实验室. 当用户只是在实验室观察时，作为伙伴系统的一部分，该用户将不被收取洁净室使用费.
CANCELLATION POLICY
综合科学洁净室和纳米制造设施有24小时取消政策. 如果您不能兑现预订，请至少提前24小时通知酒店经理. 我们意识到所有的项目都需要工具之间的某个过程流, 所以一个问题可能会打乱你的整个计划. 在这种情况下，24小时取消政策将不适用.
Please email Steve Shepard 如有任何有关取消的问题.
Equipment and Rates
| General | Internal Rates (Boston College) | 对外学术收费 (non profit) | 外部商业 Rates |
|---|---|---|---|
| Cleanroom Use | $32/hr | $32/hr | $60/hr |
| 远程工作人员协助 | $100/hr | $100/hr | $100/hr |
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 外部商业 Rates |
|---|---|---|---|---|
| 扫描电子显微镜 | JEOL JSM-7001F | $44/hr | $44/hr | $105/hr |
| EDX (on SEM) | Oxford | included in SEM rate | included in | included in |
| 聚焦离子束系统 | JEOL JIB-4500 | $45/hr | $55/hr | $115/hr |
| 纳米操作与电探测 Micromanipulator | Kleindiek MM3A | included in FIB rate | included in FIB rate | included in FIB rate |
|
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 外部商业 Rates |
|---|---|---|---|---|
| Mask Aligner | Kari Suss MA6 | -- | -- | -- |
| 电子束书写器(扫描电镜) | Nabity | $44/hr | $44/hour | $105/hr |
| 抗旋转通风柜 |
FWS-196-SS | -- | -- | -- |
| Resist Spinner (2) |
Cee 100 | -- | -- | -- |
| Resist Spinner | Laurell WS-400E | -- | -- | -- |
| Hot Plates (2) | -- | -- | -- | -- |
| 光刻胶稳定系统 | Optical Associates PL-16-100 UV | -- | -- | -- |
| 热扫描探针光刻(t-SPL)系统 |
Nanofrazor Scholar | -- | -- | -- |
| 直写无掩码对齐器 |
µMLA | -- | -- | -- |
*If the 海德堡纳米剃刀学者 是否用于数据收集，后来用于任何出版物，海报或演示文稿等., 请务必以以下声明的方式感谢美国国家科学基金会的支持:“本[出版物/演讲/海报]中报道的电子游戏正规平台得到了美国国家科学基金会核磁共振项目的支持，奖励号为1S10OD026910-01A1.”2117711"; Principal Investigator: Kenneth, Burch
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 外部商业 Rates |
|---|---|---|---|---|
| 溅射沉积系统 | AJA International Orion 8 | $40/hour | $40/hour | $95/hr |
| 台式溅射沉积 | Anatech Hummer 6.6 | $10/run | $10/run | $25/run |
| 原子层沉积 | Ultratech | $15/hr | $15/hr | $50/hr |
| 电子束沉积系统 | Kurt J. LeskerPVD-75 | $35/run | $40/run | $75/run |
| Thermal Evaporator | Kurt J. LeskerPVD-75 | $10/hr | $10/hr | $45/hr |
| 溅射沉积系统 | Kurt J. LeskerPVD-75 | $35/run | $35/run | $75/run |
| PE-CVD | Plasma-Therm Vesaline LL | $40/run | $40/run | $95/run |
| 电子束/热蒸发器 | Sharon Vacuum | $35/hr | $40/hr | $75/hr |
| 电镀系统 | Reynolds Tech | -- | -- | -- |
| Atomic Layer Deposition System | Arradiance GemStar ALD System | $15/hr | $15/hr | $50/hr |
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 对外商业费率 |
|---|---|---|---|---|
| Optical Microscope (High Power) | Olympus BX61 | -- | -- | -- |
| Optical Microscope (Low Power) | Carl Zeiss, Inc. | -- | -- | -- |
| Reflectometer | 任务峰值光学 MP100-S | -- | -- | -- |
| 表面轮廓曲线仪 | Veeco Dektak 150 | -- | -- | -- |
| 光谱椭圆计 | J.A.WoollamVertical VASE | -- | -- | -- |
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 对外商业费率 |
|---|---|---|---|---|
| ICP RIE | Plasma-ThermVersaline LL ICP | $40/hr | $40/hr | $95/hr |
| 酸蚀通风柜 | Reynolds Tech FWS-196-4910 | -- | -- | -- |
| UV-Ozone Stripper | Samco UV-1 | -- | -- | -- |
| 微波等离子体蚀刻 | PVATePla PS-210 | -- | -- | -- |
| XeF2 Etch System | XACTIX X-SYS- EXP Xetch | $15/hr | $20/hr | $50/hr |
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 对外商业费率 |
|---|---|---|---|---|
| 溶剂清洗通风柜 | Reynolds Tech FWS-196-SS | -- | -- | -- |
| 临界点干燥器 | Tousimis Autosamdri-815B | $8/run | $15/run | $25/run |
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 对外商业费率 |
|---|---|---|---|---|
| Atmospheric Furnace | 林德伯格/蓝M 3区管式炉STF55666C | $15/hr | $20/hr | $50/hr |
| 通用烤箱(2个) | -- | -- | -- | -- |
| Vacuum Oven (2) | -- | -- | -- | -- |
| 快速热处理器 | Allwin21 RTP | $5/run | $10/run | $20/run |
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 对外商业费率 |
|---|---|---|---|---|
| Bead Blaster | Econoline磨料喷砂箱 | $15/hr | $15/hr | $40/hr |
| Dicing Saw | DiscoUSA DAD3220 | $16/hr* | $20/hr* | $65/hr* |
| Diamond Wheel Saw | South Bay TechModel 650 | -- | -- | -- |
| Wire Bonder | West-Bond Model 747630E | $10/hr | $15/hr | $35/hr |
| Equipment | Vendor & Model | Internal Rates | 对外学术收费 | 对外商业费率 |
|---|---|---|---|---|
| RF LCR Meter | Agilent 4287A | -- | -- | -- |
| Probe/Test Station | Cascade Microtech M150 | -- | -- | -- |
| 四点探测站 | Jandel MHMP/RMS-AR | -- | -- | -- |
常见问题
1000级洁净室意味着小于1000个大于0的颗粒.尺寸为每平方英尺5微米. 1万级洁净室中大于0的颗粒少于1万个.每平方英尺5英寸. 该实验室由一个空气处理装置支持，每45秒彻底过滤和电子游戏正规平台设施内的空气.
Contact Steve Shepard他是纳米制造设备代理经理，他能帮你安排时间.
Contact Steve Shepard他是代理纳米制造设备经理，他可以带你开始.
BC非常重视个人防护装备(PPE). 进入实验室，所有用户必须穿戴以下PPE:
- 长裤或及踝裙
- 闭趾鞋(不能穿凉鞋、人字拖)
- 眼睛防护(眼镜或安全眼镜)
停车方便，可供洁净室用户使用. Please contact Steve Shepard 了解更多信息.
工厂正在进行的工作示例
纳米等离子体天线无线通信系统, J. Merlo, N. 内斯比特，伊兹·卡姆，A. Rose, L. D’Imperio, C. Yang, J. Naughton, K. Kempa, M. J. 诺顿，《科学报告.31710 DOI: 10.1038/srep 31710 (2016).
液滴n- seq结合微流体和n- seq鉴定复杂的单细胞表型, D. Thibault, S. Wood, P. Jensen, T. 范·奥皮宁，《生物工程学报》，DOI: 10.1101/391045 (2018).
氢键控制电催化CO还原反应的产物选择性, J. Li, X. Li, C. Gunathunge, M. Waegele, PNAS, DOI: 10.1073/pnas.1900761116 (2019).
基于纳米同轴电缆的电化学传感器; B. Rizal, M. Archibald, T. Connolly, S. Shepard, M.J. Burns, T.C Chiles, M.J. 诺顿，分析化学，DOI: 10.1021 / ac402411x (2013).
全溶液处理微/纳米线，用电镀焊接作为透明导电电极, C. Yang, J. Merlo, L. D’Imperio, A. Rose, Y. Calm, B. Han, J. Gao, G. Zhou, M. Burns, K. Kempa, M.J. 物理状态固化-快速电子游戏正规平台信函. DOI: 10.1002/pssr.201900010 (2019).
可电寻址的数组, 独立的光传输三维纳米结构, 柔性聚合物薄膜, L. D’Imperio, A. McCrossan, J. Naughton, J. Merlo, Y. Calm, M. Burns, M.J. 诺顿，柔性印刷电子，DOI: 10.1088/2058 - 8585 / aac8fc (2018).
使用碳纳米管抗体微阵列，捕获无标记的乳腺癌细胞， Farhad Khosravi等，纳米技术，DOI: 0.1088/0957-4484/27/13/13LT02 (2016).
Cuddalorepatta, G. K., van Rees, W. M., Li, H., Pantuso, D.,Mahadevan L.M. & Vlassak, J.J.,独立超薄膜的泊松比和残余应变, 固体力学与物理学报. http://doi.org/10.1016/j.jmps.2019.103821
Cuddalorepatta, G. K., Li, H., Pantuso, D., & Vlassak, J.J. “独立超薄膜应力-应变行为的测量”，材料，卷. 9,100502, 2020. http://doi.org/10.1016/j.mtla.2019.100502.
Cuddalorepatta, G. K., Sim, G., Li, H., Pantuso, D., & Vlassak, J.J. “独立超薄膜的残余应力驱动测试技术:弹性行为和残余应变”，材料电子游戏正规平台杂志, 34(20), 3474-3482, 2019. http://doi.org/10.1557/jmr.2019.278
Nanofabrication & Cleanroom Facility
Chris Gunderson
Boston College
245 Beacon St.
Room #005 C
Chestnut Hill, MA 02467
617 552 0049
gunderch@365dafa6.com